英飞凌 12 英寸碳化硅晶圆落地:借助现有硅产线,冷分片同步验证

鲸云网11月10日消息,据媒体报道,英飞凌当地时间 9 日宣布,首次在全规模晶圆厂环境中将 300mm(12 英寸)碳化硅晶圆加工为功率半导体器件。这是业内首次在 300mm 这一更大尺寸上完成 SiC 功率器件的整线制造验证,此前该类器件多以 150mm、200mm 产线为主。

英飞凌 12 英寸碳化硅晶圆落地:借助现有硅产线,冷分片同步验证

此次试制依托奥地利 Villach 晶圆厂既有的硅(Si)半导体制造设备完成。碳化硅能否复用成熟的 300mm 硅产线,是衡量其规模化降本潜力的关键门槛,英飞凌用现有产线跑通整线,意味着无需为 12 英寸 SiC 单独新建专用工厂。

英飞凌方面表示,将与客户和合作伙伴共同规划 12 英寸 SiC 技术的量产节奏,同时继续推进其 200mm SiC 制造路线图。两条尺寸路线并行推进,反映出大尺寸化已成为功率器件厂商的明确方向。

在德国德累斯顿工厂,英飞凌还验证了冷分片(cold split)技术在 12 英寸 SiC 上的可行性。该工艺介于传统线锯切割与剥离之间,可提升晶锭到晶圆的转化效率,并减少加工过程中的材料损耗。

碳化硅相比硅材料具备更高耐压、更低损耗的特性,是电动汽车主驱逆变器、大功率快充和电网设备的关键材料。晶圆从 200mm 迈向 300mm 后,单片可切出的芯片数量显著增加,单位器件成本随之向下摊薄。

行业层面,车规与能源场景对 SiC 的需求持续放量,头部厂商近两年密集押注更大尺寸产线。英飞凌、意法半导体、Wolfspeed 等均在推进 300mm 相关布局,但整线制造验证此前尚无公开先例,英飞凌这一步把产业化预期向前推了一档。

对终端市场而言,更大尺寸 SiC 晶圆若能进入量产,将直接缓解车规级器件的供给紧张,并压低整车功率电子部件的成本。不过英飞凌尚未公布具体量产时间表,商业化节奏仍取决于客户协同与设备改造进度。

在硅基功率器件增长趋缓的背景下,碳化硅被视为下一段增量主线。英飞凌此次把成熟硅产线能力迁移到 SiC,给行业提供了一条以存量产能换增量品类的参考路径。

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