12英寸碳化硅衬底取得突破 力森诺科造出最大单晶

力森诺科成功制造300mm碳化硅单晶衬底,与天岳先进、Wolfspeed同处12英寸第一梯队,降本逻辑指向电动车与AI数据中心。

鲸云网9月16日消息,据媒体报道,日本功能性化学品企业力森诺科(Resonac,原昭和电工)9月15日宣布,成功制造出直径300毫米(12英寸)的碳化硅(SiC)单晶,并完成从晶体生长到衬底加工的制备。300毫米是目前全球在研碳化硅衬底中并列最大的尺寸,这一成果让大尺寸化路径又往前推了一步。

碳化硅被称作第三代半导体代表,拥有约为硅材料三倍的临界击穿电场、出色的热导率和近红外透光性,是电动车功率模块、光伏逆变器、5G基站以及高发热芯片热管理的核心材料。力森诺科当前的主力产品还是150毫米(6英寸)外延晶圆,200毫米(8英寸)刚跨过客户验证开始出货——从6英寸主力直接跳到12英寸单晶,跨度并不小。这次突破依托其在单晶生长与衬底加工上的长期积累,并获得日本新能源产业技术综合开发机构(NEDO)绿色创新基金支持,也延续了它在碳化硅材料领域多年的研发投入与工艺沉淀。

力森诺科并非唯一站上12英寸门槛的厂商。天岳先进在2024年11月Semicon Europe发布了业界首款300毫米N型导电碳化硅衬底;Wolfspeed今年1月生产出300毫米碳化硅单晶晶圆,定位面向AI数据中心晶圆级高压供电与下一代XR光学;Coherent今年8月向AI半导体伙伴送样300毫米高导热碳化硅衬底,宣称散热较现有方案提升25%。大尺寸化最大的拦路虎是晶体生长中的应力控制——碳化硅硬度高、易开裂,直径翻倍意味着热场与气体流场的均匀性要求陡增,这也是行业主流仍停留在6到8英寸的原因。集体冲刺大尺寸的背后是降本刚需:碳化硅衬底在器件成本中占比高达约47%,12英寸晶圆表面积是8英寸的2.25倍,单片合格芯片产出可增约2.5倍,量产后单片成本有望降低40%。这与站内此前报道的长鑫HBM3存储芯片国产化、英特尔18A先进制程良率爬坡同属半导体制造向上突破的主线,只是战场从逻辑与存储转移到了材料端。

需求侧也在给大尺寸化添柴。市场机构测算,全球碳化硅器件市场2025年约40.2亿美元、2026年约50.4亿美元,到2034年有望增至186.1亿美元;仅汽车领域就从2023年的23亿美元增长至2026年的40亿美元,800伏及以上高压快充平台对碳化硅需求尤其突出。更值得关注的是,AI数据中心高功率供电与高发热密度芯片正为碳化硅打开新空间,Coherent把12英寸衬底直接指向AI散热就是信号。对普通消费者来说,这场尺寸竞赛的终点不是参数漂亮,而是车规级碳化硅器件真正降价、让电动车和快充更便宜;从“造出单晶”到稳定量产仍有距离,力森诺科计划三年内把12英寸衬底月产能做到千片级,良率与成本曲线才是真正的考验。

编辑:小昭

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